2018年1月22日
地盤や構造物の微小振動を、高感度かつ低消費電力で検出できるMEMS加速度センサーを開発
試作したMEMS加速度センサーを構成する、制御IC、検出IC、MEMS素子(左)と、MEMS素子の錘(右)
日立は、MEMS技術と回路技術を高度に融合することで、地盤や構造物からの微小振動を高感度かつ低消費電力で検出できるMEMS加速度センサーを開発しました。資源探査などに用いられている加速度センサーと同等の高感度を、従来の半分以下の消費電力で実現します。
今後日立は、開発したセンサーを次世代の資源探査やインフラモニタリングなど、高感度かつ低消費電力で振動を計測することが求められるアプリケーションに適用し、快適で安心・安全な社会の実現に貢献します。
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