2015年2月18日
原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡を開発し世界最高の分解能43ピコメートルを達成
株式会社日立製作所は、このたび、最先端研究開発支援プログラム「原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡の開発とその応用」において1.2メガボルト(MV)の加速電圧を備えた「原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡」を開発し、世界最高の分解能(点分解能)となる43ピコメートル(pm)を達成しました。
本装置の性能を評価するため、どのくらい微細な構造をカメラに伝達できるかを示す情報伝達性能を、タングステンの単結晶を試料に用いて検証しました。その結果、球面収差を補正した状態で世界一の分解能となる43pmの結晶構造情報を伝達できることを確認しました。また、本装置によって撮影したGaN(窒化ガリウム)結晶の顕微鏡像において44pm間隔のGa原子を分離して観察できることも確認しました。これらの性能は、開発した電子顕微鏡が、試料の構造や電磁場を原子レベルで観察・計測できることを示すものです。
日立は今後も、世界トップレベルの研究機関との連携を進め、高性能磁石、大容量二次電池、超低消費電力メモリデバイス材料、高温超伝導材などの機能を発現させている原子レベルの電場や磁場の振る舞いを解明し、量子力学や物性物理などの発展と持続可能な社会を支える新材料の開発に貢献していきます。
原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡装置の概観
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