2017年10月10日
走査型プローブ顕微鏡において、熱ダメージレスで組成や分子構造を計測する技術を開発
本方式の測定原理
日立は、物質の表面状態を拡大観察する際に用いられる、走査型プローブ顕微鏡向けの新しい測定プローブによる計測技術を開発しました。
本技術は、測定プローブの上方にレーザー光を照射することで、そこから伝播・発生した局在的な光スポットを用いて物質を計測する技術です。これにより、測定時に物質近くにある測定プローブ先端へのレーザー光の直接照射を回避できるため、物質に熱ダメージを与えることなく計測が可能となりました。