AIを活用した制御・認識技術で、インダストリやモビリティ分野の知能化・自動化を進めています。製造検査の画像分析や自動運転に向けた環境センシング、産業機器のメンテナンス自動化、プラント自律制御などで技術革新を図り、安全で快適な社会の実現に貢献します。
コンピュータビジョン(マルチモーダルセンシング、画像認識・解析、良品学習検査、超解像)、オートメーション(モデル自動生成、強化学習)、データアナリティクス(予兆診断、故障原因診断、ナレッジモデリング、自然言語処理)
[研究トピック]
半導体のウェハ接合プロセスにおいて接合部の微小段差を評価する画像処理技術を開発
https://rd.hitachi.co.jp/_ct/17695780
半導体ウェハ接合部の欠陥を自動検出する超音波検査技術で令和5年度全国発明表彰「日本経済団体連合会会長賞」を受賞
https://rd.hitachi.co.jp/_ct/17686550
送配電設備の信頼性を維持しながら、効率的な設備の寿命延伸や更新を進めるための支援技術を開発
https://rd.hitachi.co.jp/_ct/17717601
レジリエンス経営を支援するシミュレーション技術を開発
https://www.hitachi.co.jp/rd/news/topics/2021/2108_res.html
[研究の窓口から]
さまざまなプラントでの応用可能性にとどまらない「特性と目的を分離した学習」が実現する循環型社会への貢献
https://highlights.hitachi.co.jp/_ct/17703365
[日立評論]
送配電設備のアセットマネジメント最適化に向けた信頼性中心保全（RCM）に基づく保全計画支援技術
(2025/1予定)
LLMを活用したアセットナレッジ自動構築技術
(2025/1予定)
先端半導体デバイスの非破壊検査に対応した新型超音波映像装置FineSAT7
https://www.hitachihyoron.com/jp/papers/2024/03/02/index.html
空調IoTソリューション「exiida 遠隔監視・予兆診断」の冷媒漏えい検知技術
https://www.hitachihyoron.com/jp/archive/2020s/2023/01/19/index.html#toc-16
AI応用高スループット半導体検査ソリューション
https://www.hitachihyoron.com/jp/archive/2020s/2022/01/19/index.html#sec08
ウエーハ全面検査を実現する深層学習ベース半導体検査技術
https://www.hitachihyoron.com/jp/archive/2020s/2021/01/24/index.html#sec04
小型ステレオカメラの機能強化と市場展開
https://www.hitachihyoron.com/jp/archive/2020s/2021/01/12/index.html#sec01
[論文誌]
渡部 潤也, 河野 敏明, "保全事業マルチエージェントシミュレーションによる風車予兆診断の効果推定", 日本機械学会論文集 Vol.91, No.941, 2025.
T,Kono, R. Shinohara, H. Hashimoto and L. Lu, "Reliability-Centered Maintenance for Optimized and IoT-based Maintenance and Life Extension of Aging Substation Equipment", CIGRE Paris Session, 2024
岡 恵子, 他, "ビル用マルチエアコンの異常原因推定技術および膨張弁異常室内機特定技術", 電気設備学会論文誌 44巻1号, 2024.
https://doi.org/10.14936/tieiej.44.1_1
Ito, A., et al., "Super-resolution method for SEM images based on pixelwise weighted loss function", Microscopy 72(5), 2023
https://doi.org/10.1093/jmicro/dfad009
Osaki, M., et al., ″Quantification of three-dimensional pattern-shape variation with CD-SEM top-down image″, Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 22(2), 2023
https://doi.org/10.1117/1.JMM.22.2.021008
Fukuda, K., et al, "Trainable die-to-database for large field of view e-beam inspection", Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 22(2), 2022.
https://doi.org/10.1117/1.JMM.22.2.021004
Hori, Y., et al., "Plant O&M Support System Based on Supervised Data-Clustering Technology",
Computer Aided Chemical Engineering, Vol.49, 2022.
Hiruta, T., et al., "Unsupervised Learning Based Diagnosis Model for Anomaly Detection of Motor Bearing with Current Data", Procedia CIRP Vol.98, 2021.
佐々木 剛志, 他, "クラウドでの走行シーン自動分類に向けた車載カメラ画像による距離計測手法",
自動車技術会論文集52巻6号, 2021.
https://doi.org/10.11351/jsaeronbun.52.1235
T,Kono, R. Shinohara, H. Hashimoto and L. Lu, "Reliability-Centered Maintenance for Optimized and IoT-based Maintenance and Life Extension of Aging Substation Equipment", CIGRE Paris Session, 2024
Toshinori Yamauchi, Spatial Sensitive Grad-CAM++: Improved Visual Explanation for Object Detectors via Weighted Combination of Gradient Map, Proceedings of the IEEE/CVF Conference on Computer Vision and Pattern Recognition (CVPR) Workshops, pp. 8164-8168.2024
Kosuke Fukuda, Masayoshi Ishikawa, Yasuhiro Yoshida, Kaoru Fukaya, Ryugo Kagetani, and Hiroyuki Shindo "Deep learning-based image quality adaptation for die-to-database defect inspection", Proc. SPIE 12955, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII, 1295522,2024
https://doi.org/10.1117/12.3008799
Kasai, H., et al., "Cu pad surface height evaluation technique by in-line SEM for wafer hybrid bonding", Proc. 12955, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII(129551N), 2024.
https://doi.org/10.1117/12.3008658
Kyogoku, S., et al., "A method for dynamic placement of overlay measurement area cursors using segmentation technique", Proc. 12955, Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII(1295521), 2024.
https://doi.org/10.1117/12.3008535
渋谷 久恵, 他., "異常予兆検知後の季節変動判別技術", ViEW, 2023.
森岡 智陽, 他. "保全向け知識グラフ構築のための故障同義表現の抽出手法", 第36回人工知能学会全国大会, 2022.
Yasui, K., et al., "A method to quantify the three-dimensional shape of circuit pattern with top-down CD-SEM image", SPIE Advanced Lithography 2022.
Endo, K., et al., "Re-parameterization Making GC-Net-style 3DConvNets More Efficient", The 16th Asian Conference on Computer Vision (ACCV2022).
Kono, T., et al., "Simulation-supported maintenance design and decision making using agent-based modelling technology", The 70th CIRP General Assembly (2021).
日立造船と日立ハイテクがごみ焼却発電施設でAI制御による長期運転に成功
https://www.hitachi.co.jp/New/cnews/month/2023/01/0126.html
日立パワーソリューションズが、デバイス内面に発生する剥離・ボイドなど欠陥検出画像の高画質化と300mmウェーハの一括検査を可能にした超音波映像装置を発売
https://www.hitachi.co.jp/New/cnews/month/2022/08/0829.html
EUV適用で高まる検査計測ニーズに対応した電子線広視野検査システム「GS1000」を開発
https://www.hitachi.co.jp/New/cnews/month/2021/12/1213.html
日立オートモティブシステムズのステレオカメラがいすゞ自動車のピックアップトラック「D-MAX」に採用
https://www.hitachi.co.jp/New/cnews/month/2020/09/0930.html
遠方検知と交差点での衝突被害軽減ブレーキが可能となる広い画角を両立させるステレオカメラを開発
https://www.hitachi.co.jp/New/cnews/month/2019/12/1225.html
AIを活用した石油化学プラント向けの予兆診断サービス「ARTiMo(アルティモ)」を提供開始
https://www.hitachi.co.jp/New/cnews/month/2018/10/1004.html
