日立製作所 計測器グループ（グループ長＆ＣＥＯ 猪俣 博）は、このたび、当社の走査電子
顕微鏡(以下ＳＥＭ(Scanning Electron Microscope)としては最も低価格ながら、ＧＵＩ
(Graphical User Interface)の採用によりパソコンによる操作機能をさらに向上し、ＳＥＭの
専門知識を持たない人でも、より簡単に操作できるパソコン制御ＳＥＭ「Ｓ−２６００Ｈ」を、
平成１１年１２月１０日から販売を開始します。

　ＳＥＭは、従来から、主に半導体、材料、バイオなどの分析や検査に使用されており、使用者
は専門家が中心でした。しかしながら近年では、食品、薬品、繊維などの製造業における品質管
理をはじめ、工業高校や博物館などでも幅広く活用されるようになりました。
　また、パソコン制御の導入により、操作性が向上し、専門知識を持たない人がＳＥＭを使う機
会が増えており、初心者でも簡単に使用でき、より操作性を向上した、低価格なパソコン制御
ＳＥＭが求められていました。

　当社では、半導体の線幅などの計測に特化した測長ＳＥＭ、バイオ、材料を中心に主に研究開
発向けに用いられているＦＥ-ＳＥＭ(注１)、幅広い分野で用いられる汎用ＳＥＭを販売してお
り、測長ＳＥＭ、ＦＥ−ＳＥＭについてはワールドワードでトップシェアを保持しています。
汎用ＳＥＭのローエンド製品群に、最も低価格の「Ｓ−２６００Ｈ」を追加することにより、
より一層のＳＥＭのラインアップ強化を図るものです。

  「Ｓ−２６００Ｈ」は、本体、部品ユニットを小形化するとともに、新しいＧＵＩを採用した
ことなどにより、当社としては最も低価格なＳＥＭながら、試料名を選択するだけで、加速電圧
などのＳＥＭの設定を再現できる機能、パソコンに保存してある画像をマウスでドラックしなが
らレポート用紙に簡単に貼り付けるなどのレポート作成ソフト、必要な機能がパソコン画面上の
インデックスのクリックにより呼び出せる機能などを新たに搭載し、初心者の人でもより簡単に
操作できるようになりました。
  当社では、「Ｓ−２６００Ｈ」を半導体、バイオ、食品、薬品、繊維などの分野に、平成１２
年に２００台の出荷を目指しています。

（注１） ＦＥ(Field Emission：電界放出)-ＳＥＭ：
         電子線を発生する電子源に電解放出型という方式を採用し、電子線を細く絞り、高分
         解な像観察が可能な走査電子顕微鏡。

■パソコン制御走査電子顕微鏡「Ｓ−２６００Ｈ」の特徴
(１)オートセットアップナビの搭載
     ＳＥＭで試料を観察する場合、試料の形態や種類によって、操作条件を変えて観察する必
   要があります。本装置では、試料ごとに操作条件を保存できるため、将来、同様の試料を観
   察する場合に、その試料名を選択するだけで操作条件を再現すると共に、画像の自動表示も
　 行うため、短時間で観察や分析ができるようになります。
(２)簡単レポート作成機能を標準搭載
     保存してある画像をマウスでドラックしながらレポート用紙に簡単に貼り付けたり、レポ
   ート用紙上で自由に画像の大きさを変えたり、明るさやコントラストを変えてレイアウトす
   ることができます。
     また、画像に付随しているスケールも画像の大きさに合わせて自動可変されるので、
   ＳＥＭの画面上で簡単にレポートの作成ができます。
     さらに、プリンタによるレポート出力もマウスのワン・クリック操作で行えます。
(３)ファンクション・タブコントロール画面の採用
     ＳＥＭの操作画面は、機能ごとに、観察操作画面、画像ファイリング画面、元素分析画面
   などに区分されており、従来、それぞれの操作をする場合、アイコンやメニューバーからそ
   れぞれの機能を選択して画面の切替を行なっていました。本機種はファイルの見出しのよう
   なタブをクリックすると画面表示を変えることができるので、非常にわかりやすく、操作性
   が向上しました。
(４)メンテナンス方法の３Ｄ/ＣＧアニメーション表示
     ３Ｄ/ＣＧのアニメーションによって、ユーザーにわかりやすくメンテナンスの取扱いを説
   明します。ユーザーはそのアニメーションに従いながら、容易にメンテナンスできます。

■ 価格および出荷時期
            製 品 名                                価  格           出荷時期
パソコン制御走査電子顕微鏡「Ｓ−２６００Ｈ」   １,２８０万円〜  平成１２年３月３１日〜

■他社商標表記
・Windows は，米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。
                                                                      以  上