日立製作所 計測器グループ（グループ長＆ＣＥＯ 猪俣 博）は、このたび、含水試料でも前処理なしで観
察・分析できる走査電子顕微鏡「Ｓ−３５００Ｎ」の低真空モードの分解能を、業界最高の４.５ナノメーター
（ｎｍ）に向上して、平成１１年５月２４日より販売を開始します。
  「Ｓ−３５００Ｎ」は、食品や生物試料などの水を含んだ試料(含水試料)を形状、組成などを変えずに生の
ままで像観察をしたいというニーズに応え平成８年１２月に製品化しました。今回、シンチレータ(注1)と
呼ばれる部分を改良した新しい検出器の採用により、低真空モードによる分解能を当社従来製品の５.０ｎｍ
から４.５ｎｍに向上し、主に食品や人体、動物などの微細構造など研究・実験のための観察向けに、より高倍
率で鮮明な含水試料の観察像を提供できます。
　近年、走査電子顕微鏡(以下ＳＥＭ(Scanning Electron Microscope))は、半導体、バイオ、材料、食品、
繊維など多種多様な分野で、製造業における品質管理、研究機関における研究開発など幅広く活用されていま
す。当社では、半導体の線幅などの計測に特化した測長ＳＥＭ、バイオ、材料を中心に主に研究開発向けに
用いられているＦＥ-ＳＥＭ(注２)、幅広い分野で用いられる汎用ＳＥＭを販売しており、測長ＳＥＭ、
ＦＥ−ＳＥＭについては世界のトップシェアです。
     
  ＳＥＭは、細い電子ビームを試料に当てて、試料から出てくる電子を検出して像を描きます。電子ビーム
が試料に当たったとき、試料からとび出してくる弱いエネルギーしかもたない電子(2次電子)を検出するため
には、試料室内を１０-4パスカル（Ｐａ）（注３）レベルの高真空の状態に維持する必要がありました。し
かしながら、高真空では含水試料は急激な乾燥により変形するため、食品や生物では煩わしい前処理が必要
でした。
　また試料からは、２次電子が出てくるのと同時に、電子ビームが試料表面にぶつかって反射した電子(反射
電子)が発生しています。この２種類の電子は、エネルギーが異なるため、別々に検出することが出来ます。
反射電子は、低真空でも検出することが可能であり、当社では、この原理に着目し、試料室をより大気圧に
近い低真空(〜２７０Ｐａ)に設定(低真空モード)することにより、含水試料の形を変えずに観察できるよう
に製品化したものが「Ｓ−３５００Ｎ」です。今回の改良では、低真空モードで４.５ｎｍの業界最高の分解能
を実現しております。
     
  当社では今後、新しい検出器を採用した「Ｓ−３５００Ｎ」を食品、バイオ分野を中心に販売し、初年度200
台の受注を目指しています。
     
（注１）シンチレータ： モニタに映し出されるＳＥＭ像は、細い電子ビームを試料に当てて、試料から出て
くる電子を検出し、その電流を増幅することにより得られます。 シンチレータとは、電子の量を効率的に増
幅する部分です。
（注２）ＦＥ(Field Emission：電界放出)-ＳＥＭ：電子線を発生する電子源に電解放出型という方式を採
用しているＳＥＭ。この方式によって電子線を細く絞り、高分解な像観察が可能になります。
（注３）パスカル（Ｐａ）：圧力の単位。１パスカルは、１平行メートルに１ニュートンの力が作用する時
の圧力。なお大気圧は、約１０万パスカル。
     
■価格および出荷時期
               製品名               　価格                  出荷時期
     走査電子顕微鏡             　２,５５０万円〜     平成１１年８月３１日
     Ｓ−３５００Ｎ(高分解能版)
     
■ 主な仕様
     反射電子分解能（低真空モード）　　　４.５ｎｍ
     ２次電子分解能　　　　　　　　　　　３.０ｎｍ
     倍率　　　　　　　　　　　　　　　　１５倍〜３０万倍
     最大試料サイズ　　　　　　　　　　　φ１５０ｍｍ
     

     
                                       　　　　　　　　　以  上